1、亂流式(Turbulent Flow):
空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。
優點:構造簡單、系統建造成本低,無塵室擴充比較容易,在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達要求的潔凈度,需耗時相當長一段時間。
2、層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運動成均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需求較高的環境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。
其型式可分為二種:
?無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁的回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般下流側污染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變穩定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
?無塵車間垂直層流式:房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可獲得較高的潔凈度,在生產中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫绊懫渌ぷ鲄^域。
優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易受作業狀態或作業人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板的吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3、復合式
復合式是將亂流式及層流式予以復合并用,可提供局部超潔凈空氣。
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